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超精密半導(dǎo)體及TFT-LCD工廠用高精度測定/檢測設(shè)備用振動隔絕裝置
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對應(yīng)載荷產(chǎn)生的壓縮變形和剪切變形的最適化形狀設(shè)計,使水平方向和豎直方向的剛度能很好的協(xié)調(diào),是一款適用于超精密半導(dǎo)體和TFT-LCD生產(chǎn)工廠的主導(dǎo)產(chǎn)品。